02 中電建海外事業部(中國電建海外事業部待遇)

，我國本土半導體設備各個細分領域的發展情況如何呢？相關企業都有哪些？發展到了什么程度呢？下面就來梳理一下。

北方華創

北方華創由七星電子和北方微電子戰略重組而成。七星甴子主營清洗機、氧化爐、 氣體質量控制器(MFC)等半導體裝備及精密甴子元器件等業務，此外七星甴子還是國內真空設備、 新能源鋰甴裝備重要供應商。北方微甴子主營刻蝕設備(Etch)、物理氣相沉積設備(PVD)、化學氣相沉積設備(CVD)三類設備。

2010 年 3 月，七星甴子在深交所上市。 2016 年 8 月，七星甴子與北方微甴子實現戰略重組，成為中國規模最大、產品體系最豐富、涉及領域最廣的高端半導體工藝設備供應商，開成功引迚國家集成甴路產業基金(大基金)等戰略投資者，實現了產業與資本的融合。 公司實際控制人是北京甴控，隸屬于國資委。

2017 年 2 月，七星甴子正式更名為北方華創 科技 集團股仹有限公司，完成了內部整合，推出全新品牉“北方華創”，開形成了半導體裝備、真空裝備、新能源鋰甴裝備和高精密甴子元器件四大業務板塊加集團總部的“4+1”經營管理模式。

北方華創的半導體裝備亊業群主要包括刻蝕機、 PVD、 CVD、氧化爐、擴散爐、清洗機及質量流量控制器(MFC)等 7 大類半導體設備及零部件，面向集成甴路、先進封裝等 8 個應用領域，涵蓋了半導體生產前段工藝制程中的除光刻機外的大部分兲鍵裝備。 客戶包括中芯國際、華力微甴子、長江存儲等國內一線半導體制造企業，以及長甴 科技 、 晶斱 科技 、華天 科技 等半導體封裝廠商。

重組之后，北方華創業績快速增長。2017 年實現營業收入 22.23 億元，同比增長37.01%，歸母凈利潤 1.26 億元，同比增長 35.21%。 根據公司 2018 年半年報業績快報，2018 年上半年公司實現營業收入13.95 億元，同比增長 33.44%， 歸母凈利潤 1.19 億元，同比增長 125.44%。 隨著下游晶圓廠投資加速， 公司半導體設備等觃模持續擴張。

長川 科技

長川 科技 是國內集成電路封裝測試、晶圓制造及芯片設計環節測試設備主要供應商。 半導體測試設備主要包括分選機、 測試機和探針臺三大類。自2008年4月成立以來，該公司率先實現了半導體測試設備（分選機和測試機） 的國產化， 并獲得國內外眾多一流集成電路企業的使用和認可。

該公司于 2012 年 2 月承擔并完成國家“十二五”規劃重大專項“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”中的高端封裝設備與材料應用工程項目，并于 2015 年 3 月獲得國家集成電路產業基金投資。

該公司的測試機和分選機在核心性能指標上已達到國內領先、接近國外先進水平，同時售價低于國外同類型號產品，具備較高的性價比優勢。 公司產品已進入國內主流封測企業， 如天水華天、 長電 科技 、 杭州士蘭微、 通富微電等。 2017 年，該公司對外積極開拓市場， 設立臺灣辦事處，拓展臺灣市場。

2013~2017年，長川 科技 營收實現了由 4,341 萬元到 1.80 億元的跨越，復合增速達39.75%。 2017 年，歸屬母公司凈利潤由992萬元增長至 5,025 萬元， 復合增速達31.48%。

中微半導體

中微半導體成立于 2004 年，是一家微加工高端設備公司， 經營范圍包括研發薄膜制造設備和等離子體刻蝕設備、大面積顯示屏設備等。該公司管理層技術底蘊深厚，大多有任職于應用材料、LAM和英特爾等全球半導體一流企業的經驗。

中微半導體先后承擔并圓滿完成 65-45 納米、 32-22 納米、22-14 納米等三項等離子介質刻蝕設備產品研制和產業化。 公司自主研發的等離子體刻蝕設備 Primo D-RIE 可用于加工 64/45/28 納米氧化硅、氮化硅等電介質材料，介質刻蝕設備 Primo AD-RIE 可用于 22nm 及以下芯片加工，均已進入國內先進產線。中微半導體的介質刻蝕機已經完成了5nm 的生產。

晶盛機電

晶盛機電是一家專業從事半導體、光伏設備研發及制造的高新技術企業，是國內技術領先的晶體硅生長設備供應商。該公司專注于擁有自主品牌的晶體硅生長設備及其控制系統的研發、制造和銷售，先后開發出擁有完全自主知識產權的直拉式全自動晶體生長爐、鑄錠多晶爐產品。

該公司立足于“提高光電轉化效率、降低發電成本”的光伏技術路線，實現了硅晶體生長“全自動、高性能、高效率、低能耗”國內領先、國際先進的技術優勢。全自動單晶爐系列產品和 JSH800 型氣致冷多晶爐產品分別被四部委評為國家重點新產品。同時公司積極向光伏產業鏈裝備進行延伸，2015 年成功開發并銷售了新一代單晶棒切磨復合一體機、單晶硅棒截斷機、多晶硅塊研磨一體機、多晶硅塊截斷機等多種智能化裝備，并布局高效光伏電池裝備和組件裝備的研發。

該公司的晶體生長設備特別是單晶硅生長爐銷售形勢較好，主要是單晶光伏的技術路線獲得認可，隨著下游廠商的擴產，單晶的滲透率也逐步提升，帶來對單晶硅生長爐的需求增加，該類產品收入已經占營業收入的 81%。

該公司主營業務伴隨國內光伏產業的上升發展，給主營業務收入和利潤帶來顯著增長，近兩年的增長率均在 80%以上，另外，其毛利率水平和凈利率水平也基本維持穩定。

上海微電子

上海微電子裝備有限公司成立于2002年，主要致力于大規模工業生產的投影光刻機研發、生產、銷售與服務，該公司產品可廣泛應用于IC制造與先進封裝、MEMS、TSV/3D、TFT-OLED等制造領域。

該公司主要產品包括：

600掃描光刻機系列—前道IC制造

基于先進的掃描光刻機平臺技術，提供覆蓋前道IC制造90nm節點以上大規模生產所需，包含90nm、130nm和280nm等不同分辨率節點要求的ArF、KrF及i-line步進掃描投影光刻機。該系列光刻機可兼容200mm和300mm硅片。

500步進光刻機系列—后道IC、MEMS制造

基于先進的步進光刻機平臺技術，提供覆蓋后道IC封裝、MEMS/NEMS制造的步進投影光刻機。該系列光刻機采用高功率汞燈的ghi線作為曝光光源，其先進的逐場調焦調平技術對薄膠和厚膠工藝，以及TSV-3D結構等具有良好的自動適應性，并通過采用具有專利的圖像智能識別技術，無需專門設計特殊對準標記。該系列設備具有高分辨率、高套刻精度和高生產率等一系列優點，可滿足用戶對設備高性能、高可靠性、低使用成本(COO)的生產需求。

200光刻機系列—AM-OLED顯示屏制造

200系列投影光刻機綜合采用先進的步進光刻機平臺技術和掃描光刻機平臺技術，專用于新一代AM-OLED顯示屏的TFT電路制造。該系列光刻機不僅可用于基板尺寸為200mm × 200mm的工藝研發線，也可用于基板尺寸為G2.5(370mm × 470mm)和G4.5(730mm × 920mm)的AM-OLED顯示屏量產線。

硅片邊緣曝光機系列——芯片級封裝工藝應用

SMEE開發的硅片邊緣曝光機提供了滿足芯片級封裝工藝中對硅片邊緣進行去膠處理的能力，設備可按照客戶要求配置邊緣曝光寬度、硅片物料接口形式、曝光工位等不同形式。設備同時兼容150mm、200mm和300mm等三種不同規格的硅片，邊緣曝光精度可到達0.1mm。設備配置了高功率光源，具有較高的硅片面照度，提高了設備產率。

至純 科技

至純 科技 成立于 2000 年， 主要為電子、生物醫藥及食品飲料等行業的先進制造業企業提供高純工藝系統的整體解決方案， 產品為高純工藝設備和以設備組成的高純工藝系統，覆蓋設計、加工制造、安裝以及配套工程、檢測、廠務托管、標定和維護保養等增值服務。

該公司在 2016年前產品約一半收入來自醫藥類行業，光伏、 LED 行業及半導體行業收入占比較小。 2016年以來，公司抓住半導體產業的發展機遇，逐步擴大其產品在半導體領域的銷售占比， 2016和 2017 年來自半導體領域收入占公司營業收入比重分別為 50%和 57%，占據公司營業收入半壁江山。主攻半導體清洗設備。

該公司于 2015 年開始啟動濕法工藝裝備研發， 2016 年成立院士工作站， 2017 年成立獨立的半導體濕法事業部至微半導體，目前已經形成了 UltronB200 和 Ultron B300 的槽式濕法清洗設備和 Ultron S200 和 Ultron S300 的單片式濕法清洗設備產品系列， 并取得 6 臺的批量訂單。

精測電子

武漢精測電子技術股份有限公司創立于 2006 年 4 月，并于 2016 年 11 月在創業板上市。公司主要從事平板顯示檢測系統的研發、生產與銷售，在國內平板顯示測試領域處于絕對領先地位， 主營產品包括：模組檢測系統、面板檢測系統、OLED 檢測系統、AOI光學檢測系統和平板顯示自動化設備。近幾年來，該公司積極對外投資，設立多家子公司，業務規模迅速擴張，進一步完善了產業布局。

該公司成立初期主要專注于基于電訊技術的信號檢測，是國內較早開發出適用于液晶模組生產線的 3D 檢測、基于 DP 接口的液晶模組生產線的檢測和液晶模組生產線的 Wi-Fi 全無線檢測產品的企業，目前該公司的 Mole 制程檢測系統的產品技術已處于行業領先水平。

2014 年，精測電子積極研發 AOI 光學檢測系統和平板顯示自動化設備，引進了宏瀨光電和臺灣光達關于 AOI 光學檢測系統和平板顯示自動化設備相關的專利等知識產權，使其在 Array制程和 Cell 制程的檢測形成自有技術，初步形成了“光、機、電”技術一體化的優勢。

精測電子2018年上半年財務報告顯示，該公司收入主要來自 AOI 光學檢測系統業務，占比 45.49%，毛利占比 41.94%；其次是模組檢測系統業務，收入占比 23.33%，毛利占比 27.68%； OLED 檢測系統和平面顯示自動化設備收入占比分別為 14.29%和12.30%，毛利占比為 14.26%和 10.28%。

電子 科技 集團45所

中國電子 科技 集團公司第45研究所創立于1958年，2010年9月，中央機構編制委員會辦公室批準45所第一名稱更改為“北京半導體專用設備研究所”，第二名稱仍保持“中國電子 科技 集團公司第四十五研究所”不變。

45所是國內專門從事軍工電子元器件關鍵工藝設備技術、設備整機系統以及設備應用工藝研究開發和生產制造的國家重點軍工科研生產單位。

45所以光學細微加工和精密機械與系統自動化為專業方向，以機器視覺技術、運動控制技術、精密運動工作臺與物料傳輸系統技術、精密零部件設計優化與高效制造技術、設備應用工藝研究與物化技術、整機系統集成技術等六大共性關鍵技術為支撐，圍繞集成電路制造設備

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